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使含有一氧化硅的氩气气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口，在真空泵的作用下，排出炉外。密封导气管装置由导气管，底 座，密封环，排气口所组成，在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出，从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀， 影响单晶炉的使用寿命。其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置文献CN1205362C公了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置且其向炉内充入氩气时的充气气压在1. 3xi03Pa 以上，导致其氩气流量较大，故而氩气消耗量大，生产成本较高。

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主母线额定电流1250A【配电柜主要技术参数】额定电压40.5KV额定频率50Hz雷电冲击耐受电压：相间铠装移式交流金属封闭关设备【产品用途】本关设备适用于3.6～12kV三相交流50Hz单母线及单母线分段系统的成套配电装置DL404标准及IEC298。本关柜可配用VD4型防止在带电时误合。高压防配电装置和高压关柜等几大类。【简介编辑】关柜具有架空进出线，电缆进出线，母线联络等功能。主要适用于发电厂，变电站，石油化工，冶金轧钢，轻工纺织，厂矿企业和住宅小区。配电，电能转换和消耗中起通断，控制或保护等作用，高压关柜按作电压等级在3.6kV~550kV的电器产品，高压隔离关与接地关，高压负荷关，高压自动重合与分段器。TDR-70B，TDR-80。上虞晶盛机电工程有限是国内单晶硅生长炉行业的后起之秀，自主研发了真正的全自动控制系统，产品迅速占领了IC级硅材料行业和 太阳能行业，主要产品有TDR80A-ZJS，TDR80B-ZJS，TDR80C-ZJS，TDR8-ZJS，TDR9-ZJS，TDR112A-ZJS。研究所国内以西安理工大学的晶体生长设备研究所为代表。自61年起始生产晶体生长设备。主要产品有TDR-62B。